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詳情介紹

Hitachi SU5000 FE-SEM
高性能電子光學(xué)系統(tǒng) :
? 二次電子分辨率 _ 頂位二次電子探測(cè)器 (2.0 nm at 1 kV) 。
? 高靈敏度 _ 高效PD-BSD, 超強(qiáng)的低加速電壓性能，低至100 V成像。
? 大束流 (>200 nA) _ 便于高效微區(qū)分析。
性能優(yōu)異 :
? 壓力可變 _ 具有優(yōu)異的低真空(10-300 Pa)成像性能，
配備高靈敏度低真空探測(cè)器 (UVD) 
? 開倉(cāng)室快速簡(jiǎn)單換樣(樣品尺寸：Ф200 mm x 80 mmH)。

? 微區(qū)分析 _ EDS，WDS，EBSD等等

主要技術(shù)規(guī)格
1.2 nm @30 kV(SE)
3.0 nm @1 kV(SE)
2.0 nm @1 kV(SE) 減速模式
3.0 nm @15 kV(BSE) 低真空模式 
X
Y
Z
T
R
典型的安裝布局圖 (單位 : mm)
主機(jī) 操作臺(tái)
526
機(jī)械泵
重塊
空壓機(jī)
225
3,200
400
230
2,800
600 或以上 740 1,100
1,200
1,000
1,120
180
200
10～600,000x (底片倍率), 18～1,000,000x (800x600 像素)/30～1,500,000x(1,280x960 像素)
ZrO/W 肖特基式電子槍
0.5～30 kV (0.1 kV 步進(jìn))
減速模式：0.1～2.0 kV 
>200 nA
低位二次電子探測(cè)器
真空范圍：10～300 Pa
5-軸自動(dòng)（優(yōu)中心）
0～100 mm
0～50 mm
3～65 mm
-20～90 °
360 °
直徑：200 mm
高度：80 mm
23寸 LCD（1,920×1,080 像素）
1,280×960 像素
800×600 像素
640×480 像素
640×480 像素
640×480、 1,280×960、 2,560×1,920、 5,120×3,840
740(W）x 1,000(D) x 1,650(H) mm 550 kg
1,100(W）x 1,120(D) x 730(H) mm 290 kg
526(W）x 225(D) x 306(H) mm 28 kg
400(W）x 230(D) x 520(H) mm 18 kg
200(W）x 180(D) x 160(H) mm 40 kg
顯示器
顯示模式
圖像數(shù)據(jù)保存
體積與重量
*選配 1: 減速功能（包含高分辨率頂位二次電子探測(cè)器） *選配 2 : 低真空功能（包含5分割半導(dǎo)體探測(cè)器） *選配 3: 空壓機(jī)(本地采購(gòu))
選配探測(cè)器 高分辨率頂位二次電子探測(cè)器 
高靈敏度低真空探測(cè)器.（UVD）
5分割半導(dǎo)體探測(cè)器（PD-BSD）
能譜儀 (EDS)
波譜儀 (WDS)
背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD）