聚焦離子束FIB
產(chǎn)品型號(hào)：Scios 2 DualBeam
簡(jiǎn)介介紹：Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)可為各種樣品提供業(yè)界*出色的樣品制備、亞表層和三維表征性能。
詳情介紹
Thermo Scientifc? Scios? 2 DualBeam? 系統(tǒng)是一套超高分辨
率的分析系統(tǒng)，能為包括磁性和非導(dǎo)電材料在內(nèi)的各種樣品提供
出色的樣品制備和三維表征性能。Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)的
功能可提高通量、精度與易用性，是用于滿(mǎn)足學(xué)術(shù)、政府和工業(yè)
研究環(huán)境中科學(xué)家與工程師開(kāi)展研究與分析需求的理想解決
方案。
高質(zhì)量 TEM 樣品制備
科學(xué)家和工程師不斷面臨新的挑戰(zhàn)，需要對(duì)特征越來(lái)越小而復(fù)
雜性日益提高的樣品進(jìn)行高度局部化的表征。Scios 2 DualBeam
系統(tǒng)采用新的技術(shù)，搭載簡(jiǎn)單易用、功能的
Thermo Scientific AutoTEM? 4 軟件（可選），加上我們的應(yīng)用技
術(shù)，能夠快速、輕松制備適合各種材料的位置特異性 HR-S/TEM
樣品。為了獲得高質(zhì)量的結(jié)果，需要用低能量的離子進(jìn)行*終拋
光以*小化樣品上的表面損傷。Thermo Scientific Sidewinder?
HT 聚焦離子束 (FIB) 鏡筒不僅可在高電壓下提供高分辨率成像和
銑削，而且還有不錯(cuò)的低電壓性能，從而能夠創(chuàng)建高質(zhì)量的 TEM
薄片樣品。
高質(zhì)量的亞表層與三維信息
為了更好地理解樣品的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)，通常需要進(jìn)行亞表層或三
維表征。Scios 2 DualBeam 系統(tǒng)可選裝 Thermo Scientific Auto
Slice & View? 4 (AS&V4) 軟件，能夠全自動(dòng)高質(zhì)量采集多模態(tài)三
維數(shù)據(jù)集，其中包括用于獲得材料對(duì)比度的 BSE 成像、用
于獲取成分信息的能譜分析技術(shù) (EDS) 以及用于獲取顯微結(jié)構(gòu)和
晶體學(xué)信息的電子背散射衍射 (EBSD)。結(jié)合 Thermo Scientific
Avizo? 軟件，它為高分辨率的三維表征和分析提供了納米
級(jí)的獨(dú)特工作流程解決方案
電子光學(xué)器件
NICol 鏡筒是超高分辨率的非浸沒(méi)場(chǎng)發(fā)射 SEM 鏡筒，配備 ：
? 高穩(wěn)定性肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)糜谔峁┓€(wěn)定的高分辨率分析
電流
? 60? 雙物鏡（帶極片保護(hù)）支持傾斜較大的樣品
? 自動(dòng)加熱的物鏡光闌，可確保清潔和無(wú)觸摸光闌孔更換
? 持續(xù)的電子束電流控制和經(jīng)過(guò)優(yōu)化的孔徑角度
? 輕松安裝和維護(hù)的電子槍 – 自動(dòng)烘烤、自動(dòng)啟動(dòng)、無(wú)需機(jī)械對(duì)中
? 雙載物臺(tái)掃描偏轉(zhuǎn)
? 帶電磁透鏡和靜電透鏡的雙物鏡
? 集成的快速電子束束閘裝置 ? 用戶(hù)指南和鏡筒預(yù)設(shè)
? 短源壽命 ：24 個(gè)月
電子束分辨率 工作距離
? 在 30 keV (STEM) 下，為 0.7 nm
? 在 1 keV 下，為 1.4 nm
? 1 keV 時(shí)為 1.2 nm，配備電子束減速*
電子束參數(shù)空間
? 電子束電流范圍 ：1 pA - 400 nA
? 實(shí)際著陸能量范圍 ：20* eV - 30 keV
? 加速電壓范圍 ：200 V - 30 kV
