原子力顯微鏡
產(chǎn)品型號：NX20
簡介介紹：Park NX20
缺陷分析的*佳選擇
作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。
而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款全球*精密
的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行
業(yè)中大受贊揚。200mm樣品全尺寸自動測量，無需人工操作。
詳情介紹
原子力顯微鏡Park NX20
可滿足各種測試需求
Park NX20可以滿足科研工作者需要的各種掃描模式，并能滿足您的所有研究需求。
表面粗糙度測量
■真正非接觸模式
■輕敲模式
電學(xué)性能測量
■導(dǎo)電AFM(ULCA和VECA)
■靜電力顯微鏡(EFM)
■壓電力顯微鏡(PFM)
■掃描電容顯微鏡(SCM)
■掃描開爾文探針顯微鏡(SKPM)
■掃描電阻顯微鏡(SSRM)
■掃描隧道顯微鏡(STM)
■光電流顯微鏡(Tr-PCM)
機械性能測量
■力調(diào)制顯微鏡(FMM)
■力-距離(F-D)曲線
■力譜成像
■側(cè)向力顯微鏡(LFM)
■納米壓痕
■納米刻蝕
■相位成像
熱特性
■掃描熱感顯微鏡(SThM)
磁特性
■磁力顯微鏡(MFM)
100 μm x μm掃描范圍的XY平板掃描器
原子力顯微鏡Park NX20XY平板掃描器，采用壓電堆棧設(shè)計，減少傳統(tǒng)掃描過程中XY的正交影響
，具有高速的影響頻率，實現(xiàn)樣品奈米級掃描。
高速Z軸掃描器，掃描范圍達15μm
高強度壓電堆棧和饒性設(shè)計，標準Z軸掃描器的共振頻率大于9kHz(一般為10.5kHz)且探針的Z軸掃描速率不低于48mm/秒。 Z軸大掃描范圍可從標準的15μm擴展至30μm(長范圍Z掃描頭)。
低噪聲XYZ位置傳感器
低噪聲XYZ閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。
集成編碼器的XY自動樣品載品
編碼器可用于所有自動樣品載臺，并可保證更高的重復(fù)定位精度，
從而可控制樣品測量位置。
XY馬達動工作時分辨率為1μm，重復(fù)率為2μm。
Z馬達運動的分辨率為0.1μm，重復(fù)率為1μm。
自動多點樣品掃描
借助驅(qū)動樣品臺，可編程步進掃描，多區(qū)域成像，
原子力顯微鏡Park NX20以下是它的工作流程：
1.掃描成像
2.抬起懸臂
3.移動驅(qū)動平臺到設(shè)定位置
4.進針
5.重新設(shè)定位置掃描成像
原子力顯微鏡Park NX20該自動化功能大大減少掃描過程中人工的移動樣品，從而縮短測試時間，提高生產(chǎn)率。
操作方便的樣品臺
獨特的頭部設(shè)計，可使用從側(cè)面操作樣品及探針，
根據(jù)所選擇樣品臺的行程范圍，用品在樣品臺上可放置的樣品直徑200mm。
用于拓展掃描模式易插拔擴展槽
你只需要將可選模塊插入擴展槽，便可激活拓展掃描顯微鏡模式。
得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊化設(shè)計，其產(chǎn)品線的配置兼容性大大提高
同軸高功率光學(xué)集成LED照明和CCD系統(tǒng)
擷取22.PNG定致物鏡配有超長工作距離(50mm,0.21的數(shù)值孔徑，1.0μm的分辨率)，帶來的鏡頭清晰度。同軸光源設(shè)計讓用戶可輕易地在樣品表面找尋找測試區(qū)域，物鏡分辨率為0.7μm。得益于CCD的傳感器，在獲得較大視場的同時，但分辨率卻不受影響。由軟件控制的LED光源能為樣品表面提供足夠的照明，便于清晰觀察樣品。
掃描頭滑動嵌入式設(shè)計
你只需滑動嵌入燕尾導(dǎo)執(zhí)便可輕松更換原子力顯微鏡掃描頭。
該設(shè)計可將掃描頭自動鎖定至預(yù)對準的位置，無須調(diào)節(jié)激光位置，
激光自動投射在針尖上。借助于鄉(xiāng)優(yōu)異的四象限檢測器，
顯微鏡可**成像并可準確測定力，距離曲線。
自動Z軸移動和聚焦系統(tǒng)
高度限行Z軸移動和聚焦系統(tǒng)，可以得到清晰的視野和圖像，用戶通過軟件界面進行操作，
由高精度步進電機驅(qū)動，即使液體或者透明樣品也可快速找到樣品表面。
高速24位數(shù)字電子控制器
所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進行控制和處理。
該控制器是個全數(shù)字，24位高速控制器，可確保True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。憑借著低噪音設(shè)計和高速處理單元，該控制器也是納米成象和電壓、電流測量的選擇。嵌入式數(shù)字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，更好的解決方式
原子力顯微鏡Park NX20XY.Z軸檢測器的24位信號分辨率
■XY軸的分辨率為0.003nm (50 μm XY掃描器)
■Z軸的分辨率為0.001nm (50 μm Z掃描器)
嵌入式數(shù)字信號處理功能
■三個鎖相放大器
■探針彈簧系數(shù)校準(熱方法)
■數(shù)字化Q控制
集成式信號端口
■專用可編程信號輸入/輸出端口
■7個輸入端口和3個輸出端口
Park NX20
技術(shù)參數(shù)
掃描器
XY掃描器
閉環(huán)控制XY平板掃描器
掃描范圍：100μm x 100μm
50μm x 50μm
25μm x 25μm
20位位置控制和24位位置傳感器
Z掃描器
導(dǎo)向強力Z掃描器
掃描范圍：15μm
30μm
20位位置控制和24位位置傳感器
視場&CCD
同軸光源設(shè)計
10倍光學(xué)物鏡和數(shù)碼放大
光學(xué)物鏡視場：840μm x 630μm
CCD：5MP
光學(xué)物鏡
10X(0.21 NA)超長工作距離鏡頭的物鏡
20X(0.42 NA)高分辨率，長工作距離鏡頭的物鏡
軟件
SmartScan
專用系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采級軟件
智能掃描模式
通過外部程序控制腳本級別(選配)
NXI
AFM數(shù)據(jù)分析軟件
電性能
信號處理
ADC:18通道
ADC通道(64MSPS)
24-bits ADC的X,Y和Z掃描器位置傳感器
DAC:12通道
ADC通道(64MSPS)
20bits DAC的X,Y和Z掃描器定位
數(shù)據(jù)量:4096X4096像素
集成功能
3通道數(shù)字鎖相放大器
探針彈性系數(shù)校準(熱方法)
數(shù)據(jù)Q控制
外部信號訪問
20個嵌入式舒輸入/舒出口
5個TTL輸出：EOF,EPL,EOP,Modulation and AC bias
選項/模式
成像模式
■真正非接觸模式
■接觸模式
■側(cè)向摩擦力顯微術(shù)(LFM)
■相位成像
■輕敲模式
電學(xué)特性測量
■掃描電容顯微鏡(SCM)
■導(dǎo)電原子力顯微鏡
■靜電力顯微鏡(EFM)
■壓電力顯微鏡(PFM)
■掃描開爾文探針顯微鏡(SKPM/KPM)
■壓電力顯微鏡PFM
一般特性
■磁力顯微鏡(MFM)
■掃描熱感顯微鏡(SThM)
■力一距離(F-D)曲線
■掃描隧道顯微鏡(STM)
■力調(diào)制顯微鏡(FMN)
■納米壓痕
■納米刻蝕
■納米操控
選項
■樣品基座
■具有溫控性能的隔音罩
■液體探手
■液池
■溫控臺
■外部偏置模塊
■信號獲取模塊
原子力顯微鏡Park NX20運動位移平臺
XY行程范圍：150mm(200mm選配)
Z行程范圍：25mm
XY載臺馬達位移機械分辨率為1μm,重復(fù)率為2μm
Z向馬達位移機械分辨率為0.1μm,重復(fù)率為1μm
樣品基座
樣品*大尺寸：150mm(200mm選配)
真空樣品吸附
