原子力顯微鏡NX10技術(shù)參數(shù)：
掃描器
Z掃描器
柔性引導(dǎo)高推動(dòng)力掃描器
掃描范圍：15μm(可選 30μm)
分辨率：0.015 nm
位置探測(cè)器噪聲：0.03 nm (帶寬: 1 kHz)
共振頻率：> 9 kHz （通常10.5 kHz ）AFM測(cè)頭
SICM測(cè)頭
壓電疊堆的撓性結(jié)構(gòu)
Z掃描范圍：25 μm
位置探測(cè)器噪聲：0.03 nm (帶寬: 1 kHz)
XY 掃描器
閉環(huán)控制的柔性引導(dǎo)XY掃描器
掃描范圍：50 μm × 50 μm (可選 10 μm × 10 μm or 100 μm × 100 μm)
分辨率：0.05 nm
位置探測(cè)器噪聲：< 0.25 nm (帶寬: 1 kHz)
離面運(yùn)動(dòng)：< 2 nm (掃描超過(guò)40 μm)
驅(qū)動(dòng)臺(tái)
樣品容量：開(kāi)放空間為100 mm x 100 mm，厚度值為20mm
樣品重量：500g
XY位移臺(tái)行程范圍：20 mm x 20 mm
Z位移臺(tái)行程范圍：25 mm
聚焦樣品臺(tái)行程范圍：15 mm
影像
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野：480 μm × 360 μm (10倍物鏡)
CCD: 1 Mpixel (像素分辨率: 0.4 μm)
5 Mpixel (像素分辨率: 0.2 μm)
物鏡
10倍 (0.21NA) 超長(zhǎng)工作距離鏡頭(1μm分辨率)
20倍 (0.42NA) 高分辨率，長(zhǎng)工作距離鏡頭(0.6μm分辨率)
電子
信號(hào)處理
ADC: 18 通道
ADC通道 (64 MSPS)
24-bit ADC 的 X, Y 和 Z 掃描器位置傳感器
DAC:11通道
DAC通道（64MSPS））
20-bit DAC的 X, Y 和 Z 掃描器定位
數(shù)據(jù)量：4096 x 4096像素
集成功能
3通道數(shù)字鎖相放大器
彈性系數(shù)校準(zhǔn)(熱方法)
數(shù)據(jù)Q 控制
連接外部信號(hào)
20個(gè)嵌入式輸入/輸出端口
5個(gè)TTL輸出： EOF, EOL, EOP, Modulation,and AC bias
選項(xiàng)/模式
標(biāo)準(zhǔn)成像
實(shí)際非接觸模式
接觸模式
側(cè)向摩擦力顯微術(shù) （LFM)
相位成像模式
輕敲模式
化學(xué)性能
功能化探針的化學(xué)力顯微鏡
電化學(xué)顯微鏡(EC-STM和EC-AFM)
介電／壓電性能
靜電力顯微鏡
動(dòng)態(tài)接觸式靜電力顯微鏡(EFM-DC)
壓電力顯微鏡 (PFM)
高電壓PFM
力測(cè)量
力－距離（F-D)光譜
力譜成像
磁性能
磁力顯微鏡 （MFM)
可調(diào)MFM
熱性能
掃描熱顯微鏡(SThM)
電性能
Pinpoint 導(dǎo)電AFM (CP-AFM)
I-V譜線(xiàn)
掃描開(kāi)爾文探針顯微鏡 (SKPM/KPM)
高電壓SKPM
QuickStep掃描電容顯微鏡(SCM)
掃描電阻顯微鏡(SSRM)
掃描隧道顯微鏡(STM)
掃描隧道光譜(STS)
光電流測(cè)繪(PCM)
機(jī)械性能
Pinpoint模式
力調(diào)制顯微鏡(FMM)
納米壓痕
納米刻蝕
高電壓納米刻蝕
納米操縱
軟件
Park SmartScan?
AFM系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的專(zhuān)用軟件
智能模式的快速設(shè)置和簡(jiǎn)易成像
手動(dòng)模式的**使用和更精密的掃描控制
XEI
AFM數(shù)據(jù)分析軟件
獨(dú)立設(shè)計(jì)——-可獨(dú)立安裝和分析數(shù)據(jù)
能夠生成采集數(shù)據(jù)的3D繪制
