l 人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，抓取手柄輕便，可穩(wěn)定無(wú)虞的移動(dòng)
l 可快速輕松地與單功能測(cè)試模組交換
l 空氣軸承技術(shù)用于剪切力測(cè)試
l “暫存位置”保護(hù)測(cè)試模塊里面的傳感器
l 傳感器應(yīng)用窗口
光學(xué)系統(tǒng)
4800系統(tǒng)提供了一系列的光學(xué)解決方案：
圖像采集系統(tǒng)：為失效模式分析提供高分辨率圖像。內(nèi)置于系統(tǒng)中，靠近測(cè)試頭的位置可提高產(chǎn)量，尤其適用于自動(dòng)化測(cè)試。
校準(zhǔn)攝像頭：內(nèi)置配有微距變焦鏡頭和通州照明的高分辨率攝像頭。當(dāng)與圖像采集系統(tǒng)配合使用時(shí)，自動(dòng)化模板和程序的設(shè)置和使用得到顯著增強(qiáng)。
集成的圖像采集和對(duì)位攝像頭
三目攝像頭：借助合適的顯微鏡，可以從遠(yuǎn)到近調(diào)整視場(chǎng)，非常適合微觀定位。與側(cè)面對(duì)位攝像頭結(jié)合使用時(shí)，兩個(gè)視圖（前部和側(cè)面）有助于實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測(cè)試頭校準(zhǔn)。此外，可以使用高功率光學(xué)器件來(lái)觀察20微米以下的超微特征點(diǎn)，以輔助操作員進(jìn)行剪切力測(cè)試校準(zhǔn)。
集成校準(zhǔn)：側(cè)面對(duì)位攝像頭非常適合測(cè)試微特征。其支持輔助視點(diǎn)功能，可提供準(zhǔn)確、可重復(fù)的測(cè)試。側(cè)面對(duì)位攝像頭與測(cè)試模塊支架相連，可以提供超穩(wěn)定、無(wú)震動(dòng)且持續(xù)聚焦測(cè)試位置的圖像。
孔徑儀成像系統(tǒng)：孔徑儀可提供高倍放大圖像，非常適合工具的準(zhǔn)確校準(zhǔn)。它也可以實(shí)現(xiàn)離線失效模式分析、測(cè)試分級(jí)和實(shí)時(shí)測(cè)試記錄。
成功測(cè)試翹曲晶圓和薄晶圓
智能邊緣升降托盤擁有獨(dú)特的設(shè)計(jì)，邊緣升降撐腳能確保彎曲晶圓不會(huì)從托盤上滑落。漸進(jìn)的真空壓力在晶圓上方形成真空。
DAGE4800 12寸晶圓剪切力測(cè)試儀/焊接強(qiáng)度測(cè)試儀/推拉力測(cè)試儀產(chǎn)品特點(diǎn)包括：
預(yù)先調(diào)準(zhǔn)準(zhǔn)確性
通過(guò)在邊緣處完全支撐晶圓來(lái)消除橫向移動(dòng)。這確保了每個(gè)應(yīng)用的晶圓放置。
內(nèi)置的十字線攝像頭對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)該對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)可確保操作員百分之一百確信負(fù)載工具相對(duì)于卡盤的位置。這種校準(zhǔn)大大提高了準(zhǔn)確性。
集成校準(zhǔn)
通過(guò)內(nèi)置的驗(yàn)證和測(cè)試模組校準(zhǔn)確保結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
智能和直觀的晶圓托盤控制器
多功能可編程控制器確保晶圓的可靠的傳輸。將其無(wú)縫集成到Paragon軟件中，可以提供有關(guān)真空夾緊壓力的反饋，從而防止損壞晶圓。
更重要的是，操作者可以輕松看到真空和氣壓的連續(xù)反饋信息，因此可以采取措施防止在壓縮空氣供應(yīng)中斷的情況下?lián)p壞晶圓。
失效模式和分級(jí)
自動(dòng)圖像采集系統(tǒng)定位正確的位置以優(yōu)化圖像質(zhì)量。擴(kuò)展的景深選項(xiàng)也會(huì)生成自動(dòng)聚焦的圖像和失效的3D地圖。
全自動(dòng)晶圓測(cè)試技術(shù)集成晶圓處理
Nordson DAGE4800與晶圓處理系統(tǒng)集成，可確保操作可靠性和可重復(fù)性。
集成晶圓處理系統(tǒng)將Nordson DAGE4800轉(zhuǎn)化為一個(gè)完全自動(dòng)化的系統(tǒng)，其利用下一代Paragon?焊接強(qiáng)度測(cè)試軟件確?？煽啃院涂芍貜?fù)的操作。
直觀和可配置的界面為各種樣品配置提供了快速、簡(jiǎn)便的自動(dòng)化測(cè)試程序開(kāi)發(fā)和執(zhí)行。一步一步的向?qū)б龑?dǎo)用戶完成設(shè)置過(guò)程，滿足各種選擇需求。Paragon還提供了同事顯示記錄來(lái)自多臺(tái)攝像頭視圖的功能。
CHAD晶圓處理器
Nordson DAGE 4800 Integra是自動(dòng)晶圓焊接強(qiáng)度測(cè)試的解決方案。整個(gè)系統(tǒng)由工廠配置并由一臺(tái)PC控制。
幾乎無(wú)需操作員介入測(cè)試
該系統(tǒng)完全由Paragon?軟件進(jìn)行控制，經(jīng)過(guò)編程后，無(wú)需操作員介入即可自動(dòng)執(zhí)行測(cè)試的所有部分。
ECS/GEM集成
系統(tǒng)直接連接到網(wǎng)絡(luò)以允許SECS/GEM操作。當(dāng)與FOUP加載系統(tǒng)結(jié)合使用時(shí)，測(cè)試、分析和結(jié)果可以完全自動(dòng)化。
無(wú)塵室兼容
可選風(fēng)扇過(guò)濾裝置和前門可加入離子去除裝置，以進(jìn)行無(wú)塵室操作。
自動(dòng)晶圓矯正器
晶圓矯正器確保在測(cè)試之前可將翹曲的晶圓自動(dòng)夾緊到真空吸盤上。
風(fēng)扇過(guò)濾器
4800 Integra可安裝風(fēng)扇過(guò)濾器和封閉門。這樣可以保持系統(tǒng)內(nèi)部的正壓力，并將碎屑排出測(cè)試區(qū)域。
互鎖選項(xiàng)
可以安裝光幕或互鎖門，以保護(hù)操作者免受測(cè)試區(qū)域的傷害。系統(tǒng)將在光幕或互鎖門被損壞或被打開(kāi)時(shí)暫停當(dāng)前的測(cè)試，并在障礙物消除后重新啟動(dòng)。
CCD攝像頭監(jiān)控
可選的CCD攝像頭可以安裝在晶圓處理機(jī)上，也可以安裝在4800 Integra內(nèi)部。允許對(duì)測(cè)試過(guò)程進(jìn)行監(jiān)視和記錄。
