Nordson March AP1000 等離子清洗機
產(chǎn)品型號:AP1000 Plasma
簡介介紹:在微電子加工過程中,特別是在芯片貼裝和絲線鍵合的過程中,需要對表面輕微有機污染或氧化物進行清洗,在這種場合下,需要用等離子清洗的方法進行清洗。美國MARCH 公司的等離子清洗設(shè)備在以下器件的制造過程中能起到很好地清洗作用:光電器件、微波器件、混合電路、MEMS器件、RF模塊、功率器件、傳感器、半導體器件、LED、分立元器件、納米器件、聲表器件。
詳情介紹
Nordson March AP1000 等離子清洗機是專門設(shè)計適應(yīng)24小時生產(chǎn)的嚴格要求的情況。此系統(tǒng)提供統(tǒng)一的等離子體,具有優(yōu)良的可靠性、操作簡單等優(yōu)點。AP-1000平臺是完全獨立的。泵、處理腔體、電子控制和13.56MHz電源供應(yīng)都被安裝在一個單一的外殼內(nèi)。前面開門使得存取組件都很便利。泵安裝在便于拆卸的滾筒上。
帶有HTP(高吞吐量)架選項的AP-1000等離子系統(tǒng)結(jié)合了可靠性和生產(chǎn)品質(zhì),證明March 磚利的HTP架的優(yōu)勢。AP-1000 HTP優(yōu)化在RF激勵源產(chǎn)生的離子的應(yīng)用,使在減少過程時間的時候,提高處理的一致性。
Nordson March AP1000 等離子清洗機 HTP允許選擇一系列工藝氣體,例如氬氣、氫氣和氦氣等。它裝備4個質(zhì)量流量控制器以達到工藝氣體控制。帶有槽的M/G制具垂直安裝在處理腔體中。出色的是,每塊M/G制具可*小支撐20個框架。處理腔體*多可裝12個M/G制具,這有M/G制具的尺寸決定
Nordson March AP1000 等離子清洗機特征與優(yōu)勢
觸摸屏的PLC控制,提供了形象的圖形界面和實時過程顯示;
實時顯示工藝過程,數(shù)據(jù)時時可調(diào), 可存64個程序;
四種清洗模式:強洗、弱洗、無電子清洗、取膠;
可用來清洗敏感,易粹器件;
靈活的支架結(jié)構(gòu)允許處理多種部分,在水平或豎直模式下;
13.56MHz的電源具有自動阻抗匹配功能,因此具有出色的過程重復性;
磚利的控制軟件系統(tǒng)為統(tǒng)計過程控制產(chǎn)生過程和產(chǎn)品的數(shù)據(jù);
雙重真空吸塵,強力清洗,鋁制清洗室,免污染。
專注為電子制造商提供如下SMT設(shè)備:
錫膏印刷機、錫膏測厚儀SPI、SMT貼片機、HELLER回流焊、光學檢測AOI、X-Ray X光射線檢測機、等整條SMT生產(chǎn)線設(shè)備,以及服務(wù)和解決方案。
專注為封測廠提供如下半導體封測設(shè)備:
DieBond固晶機、DieAttach晶圓貼片機粘片機、WireBond焊線機引線鍵合機、Molding塑封機、WaferGrinding研磨機、WaferSaw切割機、X-RayDageX光檢測機、BondTest推拉力測試機、Plasma等離子清洗機、C-SAM超聲波掃描、原子力顯微鏡、先進封裝電鍍等設(shè)備
提供從IC Design→Fabless→封裝測試→SMT表面組裝的整套集成電路電子制造的行業(yè)資源,設(shè)備及解決方案